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如何選擇高純氣管及附件材料?

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如何選擇高純氣管及附件材料?

發布日期:2022-03-01 作者: 點擊:

  包頭氣體高純度氣體通過管道運輸。能否將高純度氣體送至用氣點的關鍵是供氣系統規劃合理,管件及附件選擇正確,施工安裝正確,實驗檢測合格。對于高純度氣體管道運輸管道,應根據工藝流程對氣體純度、允許的雜質含量和顆粒含量有不同的要求,選擇相應質量的管道。例如,由于半導體行業生產工藝復雜,加工精細,不僅需要清潔的生產環境,而且對生產過程中所需的不同高純度氣體也有具體嚴格的要求。從微米技能到亞微米、深亞微米(小于O.35g.m)技能,對氣體中的雜質含量和水含量要求極其嚴格。10(ppm級)現在無法滿足要求,需求達到10(ppb級),甚至101~2(ppt級),塵埃粒徑需要控制到0.05-0。因此,運輸管道數據本身是需要的。


  2.1管道數據特性。


  對于高純氣體管道的運輸,影響氣體質量的管道數據的主要特點是氣體滲透性、出風率、吸附性、外觀粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性。


  21.1氣體浸透性。


  氣體從壓力(或壓力)高的一側流入壓力(或壓力)低的一側。由于空氣中氧氣和氮氣的壓力較大,氣體分子相對較小較大,氣體分子相對較小,管道數據對氣體的滲透性主要表現為氧氣和氮氣的滲透性,氧氣的滲透性測試一般較多。大氣中氧氣浸透(ppm)不銹鋼管O銅管O聚丙烯管1l聚四氟乙烯管12一般鋼管203。


  從表中可以看出,對于運輸ppm級和高純度要求的氣體,有從氣體浸透的角度選擇不銹鋼管或鋼管。如果我們不恰當地選擇不符合要求的管道數據,無論我們采用什么凈化方法,都將無濟于事。


  2.1.2出風率。


  數據冶煉過程中形成的管道數據晶間可能存在氮、碳氫化合物等雜質。在高純氣體運輸過程中,這些雜質會緩慢釋放,污染高純氣體,是PPB以上的高純氣體。通常,低碳不銹鋼管的出風率很低。


  2.1.3吸附。


  因為水和其他雜質是極性分子,所以它們具有很強的吸附性。橡膠、塑料或一些粗糙的材料容易吸收水和其他雜質,銅對水有很強的吸附,使用這些材料運輸高純度氣體容易污染,除了運輸PPM以下氧氣將使用銅管,高純度氣體不選擇銅管和塑料管,氣體接觸墊片,填料不選擇橡膠、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。


包頭氣體


  2.1.4外觀粗糙度和耐磨性。


  為了保障運輸氣體的純度,管道數據的內部和外部需要很高的亮度,以防止污染顆粒和水分滯留在管壁上,并且在吹掃過程中相對簡單。管道相對明亮耐磨,在高速氣流沖刷下,金屬顆粒較少,不銹鋼比銅管顆粒較少,因此不銹鋼管的耐磨性優于鋼管。


  2.1.5耐腐蝕。


  在微電子生產中,一些腐蝕性好的氣體經常被使用。此時,有選擇耐腐蝕的管道,否則管道會被腐蝕,從外觀上的銹斑到大面積脫落和穿孔,這不僅會污染氣體,還會發生安全事故。


  2.1.6內外表處理。


  為了進一步提高管道數據的特性,一般有三種方法來處理管道的內外表面:酸洗鈍化(AP)、亮光退火(BA)和電解拋光(EP)。實驗數據和實踐證明,外觀處理后。管道數據粗糙度降低。出風率降低。外觀吸附性減弱。


  2.2管道數據及連接。


  純度在規定以內的氣體管道選用10#或20#無縫鋼管(內外鍍鋅或純化處理)和銅管。鍍鋅管采用螺紋連接??傠s質含量≤10-100ppm的氣體管道選用304不銹鋼亮光退火管(304BA)、304不銹鋼管純化處理(304AP)管。管道采用焊接連接,可選用對接焊、承插焊或套管焊接??傠s質含量≤1-1oppm的氣體管道選用316L不銹鋼亮光退火管(316LBA)和304不銹鋼電拋光管(304EP)。管道連接采用焊接,


  內壁無疤痕對接焊,高純氬保護焊。對于總雜質含量≤LPPM的高純氣體管道,有選擇316L不銹鋼電拋光管(3L6LEP)。管道連接采用焊接,內壁無疤痕對接焊,高純氬保護焊在潔凈室進行。


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相關標簽:包頭氣體,內蒙氣體,呼市氣體

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